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中文题目: 大尺寸全息光栅曝光中条纹平移和周期的锁定
外文题目: Locking of the Fringe Position and Period in Large-size Holographic Grating Exposure
作者: 张栋; 赵成强; 徐文东; 张益彬; 闫昱琪
刊名: 光子学报
年: 2018 卷: 47 期: 2 页: 205001
中文关键词:
全息光栅; 干涉条纹; 相位锁定; 光栅周期; 干涉光刻
英文关键词:
Holographic grating; Interference fringe; Phase locking; Grating period; Holographic lithography
中文摘要:
英文摘要:
文献类型: 期刊论文
正文语种: Chinese
收录类别: CSCD  
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