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4780067145中国科学技术大学学报39用Raman谱方法研究了非晶态硅薄膜退火后的一些特性,进一步证明了超短脉冲激光退火的样品是层状的结晶结构。用Stokes线强度与反Stokes线强度之比测定了晶格的内部温度,与用热偶直接读数相符合。同时,还使用这个方法研究了Raman谱仪激光束对退火样品的加热作用。1983REORTSOMCNK1665期刊论文退火的非晶硅薄膜的Raman光谱研究chi非晶硅薄膜;Raman光谱;激光退火;Stokes;激光束;谱方法;结晶结构;热偶;晶态;微晶硅;汪兆平;方容川;梁培辉
中文题目: 退火的非晶硅薄膜的Raman光谱研究
作者: 汪兆平;方容川;梁培辉
刊名: 中国科学技术大学学报
年: 1983 期: 1 页: 39--45
中文关键词:
非晶硅薄膜;Raman光谱;激光退火;Stokes;激光束;谱方法;结晶结构;热偶;晶态;微晶硅;
中文摘要:
文献类型: 期刊论文
正文语种: chi
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